羅茨真空泵與其它類型的真空泵相比較,有如下優(yōu)點:
1)在很寬的壓力范圍內(10?10負二次方Torr),具有穩(wěn)定的大抽速,能迅速排出突然放出的氣體,彌補了油封機械泵和擴散泵的不足,很適宜作機械增壓泵之用。在有水封或油封的情況下,能直排大氣抽真空,也適宜作大抽速的粗真空泵。
2)設計先進,結構合理,轉子間及轉于與泵體間均有間隙,互不接觸,不用潤滑,摩擦損失小,可用較低的動力獲得較大的抽速,有顯著的節(jié)能效果。
3)轉子有良好的幾何對稱性,工作平穩(wěn),能用提高轉速的辦法獲得大抽速,從而做到結構緊湊、體積小、重量輕。羅茨真空泵
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4)泵腔內不發(fā)生氣體壓縮,加之運動件之間有間隙,對抽吸氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感,因此可抽出可凝性蒸汽。
5)泵腔內運動件無需用油潤滑,能避免油蒸汽對真空系統(tǒng)的污染,有利于獲得無油真空。
6)無需進排氣閥,結構簡單,噪聲較低,泵腔內運動件互不接觸,不易損壞,維護費用低。
7)啟動快,能在短時間內達到極限真空。
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